武漢純水設(shè)備廠家講解高純水/超純水水質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)
2023-06-30
高純水/超純水水質(zhì)的標(biāo)準(zhǔn)是什么呢？武漢純水設(shè)備廠家介紹如下：
純凈水，指的是不含雜質(zhì)的H2O。
武漢純水設(shè)備廠家介紹到從學(xué)術(shù)角度講，純凈水又稱純水、高純水，是指化學(xué)純度極高的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，通常水的純度是以其電阻率(或電導(dǎo)率)來表證;也有根據(jù)用戶的需求來規(guī)定。
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的。細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷摹Ｄ壳八|(zhì)要求最高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣，武漢純水設(shè)備廠家告訴大家其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下：
電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);
TOC(總有機(jī)碳)小于1到10ppb，
DO(溶解氧)小于1到10ppb;
細(xì)菌檢測：無。
但對于高純水來說這是不確切的，應(yīng)檢測純水中某項(xiàng)雜質(zhì)的含量來表證。這是因?yàn)椋河绊懜呒兯娮杪实闹饕蛩厥荘H，而不是ppt即10-11M級雜質(zhì)，電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數(shù)，不能表證某一單項(xiàng)雜質(zhì)的含量，而對于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量，而是我們所要分析的某單項(xiàng)雜質(zhì)該元素的含量，即空白值，這顯然不能由電阻率給出的。
武漢純水設(shè)備廠家介紹到對于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì)，將會造成錯覺。因此，我們以無焰原子吸收光譜法檢查純水的單項(xiàng)雜質(zhì)含量來表證其水質(zhì)，這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而制定的。高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。
純凈水，指的是不含雜質(zhì)的H2O。
武漢純水設(shè)備廠家介紹到從學(xué)術(shù)角度講，純凈水又稱純水、高純水，是指化學(xué)純度極高的水，其主要應(yīng)用在生物、化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用zui普遍的還是電子工業(yè)。純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)，通常水的純度是以其電阻率(或電導(dǎo)率)來表證;也有根據(jù)用戶的需求來規(guī)定。
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水，即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的。細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷摹Ｄ壳八|(zhì)要求最高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè)，根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣，武漢純水設(shè)備廠家告訴大家其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下：
電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);
TOC(總有機(jī)碳)小于1到10ppb，
DO(溶解氧)小于1到10ppb;
Particle(顆粒)：0.05微米小于200個/升;
細(xì)菌檢測：無。
但對于高純水來說這是不確切的，應(yīng)檢測純水中某項(xiàng)雜質(zhì)的含量來表證。這是因?yàn)椋河绊懜呒兯娮杪实闹饕蛩厥荘H，而不是ppt即10-11M級雜質(zhì)，電阻率是衡量水中電解質(zhì)總和的參數(shù)，不能表證某一單項(xiàng)雜質(zhì)的含量，而對于高純分析所關(guān)心的不是雜質(zhì)的總含量，而是我們所要分析的某單項(xiàng)雜質(zhì)該元素的含量，即空白值，這顯然不能由電阻率給出的。
武漢純水設(shè)備廠家介紹到對于高純水如果仍以電阻率衡量其水質(zhì)，將會造成錯覺。因此，我們以無焰原子吸收光譜法檢查純水的單項(xiàng)雜質(zhì)含量來表證其水質(zhì)，這樣可確切地反映水的純度。而高純水的國家標(biāo)準(zhǔn)為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標(biāo)準(zhǔn)將電子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標(biāo)準(zhǔn)是參照ASTM電子級標(biāo)準(zhǔn)而制定的。高純水的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)中所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)的主要依據(jù)有：1.微電子工藝對水質(zhì)的要求;2.制水工藝的水平;3.檢測技術(shù)的現(xiàn)狀。
